错误ERROR: [Labtools 27-3312]

vivado使用ILA的时候总是出现这个错误ERROR: [Labtools 27-3312] Data read from hw_ila [hw_ila_1] is corrupted. Unable to upload waveform.
降低过jtag的频率也没有用，同样的bit和ltx文件重新下载就不行了，请问是什么原因呢？

什么开发板，如果是ZYNQ开发板注意拔掉TF卡 ，如果是其他的FPGA开发板，可能怀疑硬件问题